——综述篇——

第1章：半导体静电吸盘（ESC）综述/产业画像/数据说明

1.1 半导体静电吸盘（ESC）行业综述

1.1.1 半导体静电吸盘（ESC）的界定

1.1.2 半导体静电吸盘（ESC）的分类

1.1.3 半导体静电吸盘（ESC）所处行业

1.1.4 半导体静电吸盘（ESC）行业监管

1.1.5 半导体静电吸盘（ESC）行业标准

1.2 半导体静电吸盘（ESC）产业画像

1.2.1 半导体静电吸盘（ESC）产业链结构梳理

1.2.2 半导体静电吸盘（ESC）产业链生态全景图谱

1.2.3 半导体静电吸盘（ESC）产业链区域热力图

1.3 本报告数据来源及统计标准说明

1.3.1 本报告研究范围界定

1.3.2 本报告权威数据来源

1.3.3 研究方法及统计标准

——现状篇——

第2章：全球半导体静电吸盘（ESC）行业发展现状分析

2.1 全球半导体静电吸盘（ESC）行业发展历程

2.2 全球半导体静电吸盘（ESC）行业发展现状

2.2.1 全球半导体产业发展概况

2.2.2 全球半导体设备市场概况

2.2.3 全球半导体零部件细分市场概况

2.2.4 全球半导体静电吸盘（ESC）量产情况

2.3 全球半导体静电吸盘（ESC）市场竞争格局

2.3.1 全球半导体静电吸盘（ESC）市场竞争格局

2.3.2 全球半导体静电吸盘（ESC）市场集中度

2.3.3 全球半导体静电吸盘（ESC）并购交易

2.4 全球半导体静电吸盘（ESC）市场规模体量

2.4.1 全球半导体零部件市场规模

2.4.2 全球半导体静电吸盘（ESC）市场规模

2.5 全球半导体静电吸盘（ESC）区域发展格局

2.5.1 全球半导体静电吸盘（ESC）区域格局

2.5.2 全球半导体静电吸盘（ESC）贸易关系

2.5.3 全球半导体静电吸盘（ESC）贸易流向

2.6 国外半导体静电吸盘（ESC）发展经验借鉴

2.6.1 国外半导体静电吸盘（ESC）发展经验借鉴

2.6.2 重点区域市场：日本

2.6.2 重点区域市场：美国

2.7 全球半导体静电吸盘（ESC）市场前景预测

2.8 全球半导体静电吸盘（ESC）发展趋势洞悉

第3章：中国半导体静电吸盘（ESC）行业发展现状分析

3.1 中国半导体静电吸盘（ESC）行业发展历程

3.2 欧美日对中国半导体产业链制裁

3.2.1 美国对中国半导体产业链的制裁

3.2.2 欧洲对中国半导体产业链的制裁

3.2.3 日本对中国半导体产业链的制裁

3.3 中国半导体静电吸盘（ESC）国产替代空间

3.3.1 中国半导体静电吸盘（ESC）国产化进程/国产化率

3.3.2 中国半导体静电吸盘（ESC）国产替代空间

3.4 中国半导体静电吸盘（ESC）市场供给/生产

3.4.1 半导体静电吸盘（ESC）市场参与者类型

3.4.2 半导体静电吸盘（ESC）企业数量/名单

3.4.3 半导体静电吸盘（ESC）企业入场方式

3.4.4 半导体静电吸盘（ESC）企业入场进程

3.4.5 半导体静电吸盘（ESC）企业产品列表

3.4.6 半导体静电吸盘（ESC）企业产能布局

3.4.7 半导体静电吸盘（ESC）企业产能规划

3.4.8 半导体静电吸盘（ESC）生产情况/产量

3.5 中国半导体静电吸盘（ESC）对外贸易状况

3.5.1 半导体静电吸盘（ESC）适用海关HS编码

3.5.2 半导体静电吸盘（ESC）进口贸易概况

3.6 中国半导体静电吸盘（ESC）市场需求/销售

3.6.1 半导体静电吸盘（ESC）市场销售模式

3.6.2 半导体静电吸盘的设备商/晶圆厂的认证情况

3.6.3 半导体静电吸盘（ESC）市场需求现状

3.6.4 半导体静电吸盘（ESC）市场供求关系

3.6.5 半导体静电吸盘（ESC）市场价格水平

3.7 中国半导体静电吸盘（ESC）市场规模体量

3.7.1 新增需求

3.7.2 替换需求

3.8 中国半导体静电吸盘（ESC）市场竞争态势

3.8.1 半导体静电吸盘（ESC）同业竞争程度

3.8.2 半导体静电吸盘（ESC）市场竞争格局

3.8.3 半导体静电吸盘（ESC）市场集中度

3.8.4 半导体静电吸盘（ESC）外企在华布局

3.9 中国半导体静电吸盘（ESC）投融资及热门赛道

3.9.1 半导体静电吸盘（ESC）企业融资方式

3.9.2 半导体静电吸盘（ESC）行业兼并重组

3.9.3 半导体静电吸盘（ESC）行业融资动态

3.10 中国半导体静电吸盘（ESC）行业发展痛点问题

第4章：中国半导体静电吸盘（ESC）技术进展及供应链

4.1 半导体静电吸盘（ESC）竞争壁垒

4.1.1 半导体静电吸盘（ESC）核心竞争力/护城河

4.1.2 半导体静电吸盘（ESC）进入壁垒/竞争壁垒

1、技术壁垒

2、客户认证壁垒

4.1.3 半导体静电吸盘（ESC）潜在进入者的威胁

4.2 半导体静电吸盘（ESC）技术研发

4.2.1 半导体静电吸盘（ESC）技术研发现状

4.2.2 半导体静电吸盘（ESC）专利申请状况

4.2.3 半导体静电吸盘（ESC）科研创新动态

4.2.4 半导体静电吸盘（ESC）技术研发方向/未来研究重点

4.3 半导体静电吸盘（ESC）制备工艺

4.3.1 半导体静电吸盘（ESC）的工作原理

1、单极性

2、双极性

4.3.2 半导体静电吸盘（ESC）生产工艺流程

4.3.3 半导体静电吸盘（ESC）的粉体开发

4.3.4 半导体静电吸盘（ESC）的烧结工艺

4.3.5 半导体静电吸盘（ESC）的加工工艺

1、精密加工

2、表面处理

4.3.6 半导体静电吸盘（ESC）核心技术分析——分区温控

4.4 半导体静电吸盘（ESC）成本结构

4.4.1 半导体静电吸盘（ESC）基本结构组成

1、Disk（盘）

2、Electrode（电极）

3、Heater（加热器）

4、Baseplate（底板）

4.4.2 半导体静电吸盘（ESC）成本结构分析

4.4.3 半导体静电吸盘（ESC）成本控制策略

4.5 半导体静电吸盘加热器材料——氧化铝陶瓷（Al2O3）

4.5.1 氧化铝陶瓷（Al2O3）概述

4.5.2 氧化铝陶瓷（Al2O3）市场概况

4.5.3 氧化铝陶瓷（Al2O3）供应商格局

4.6 半导体静电吸盘加热器材料——氮化铝（AlN）陶瓷

4.6.1 氮化铝（AlN）陶瓷概述

4.6.2 氮化铝（AlN）陶瓷市场概况

4.6.3 氮化铝（AlN）陶瓷供应商格局

4.7 半导体静电吸盘（ESC）其他原材料及耗材

4.8 半导体静电吸盘（ESC）生产设备

4.7.1 半导体静电吸盘（ESC）产线设备组成及设备选型

4.7.2 半导体静电吸盘（ESC）生产设备市场概况

4.8 半导体静电吸盘（ESC）供应链管理及面临挑战

第5章：中国半导体静电吸盘（ESC）行业细分市场分析

5.1 半导体静电吸盘（ESC）行业细分市场发展概况

5.1.1 半导体静电吸盘（ESC）VS其他卡盘

5.1.2 半导体静电吸盘（ESC）产品综合对比

5.1.3 半导体静电吸盘（ESC）细分市场概况

5.1.4 半导体静电吸盘（ESC）细分市场结构

5.2 半导体静电吸盘（ESC）细分市场：库伦型静电吸盘

5.2.1 库伦型静电吸盘概述

5.2.2 库伦型静电吸盘市场概况

5.2.3 库伦型静电吸盘竞争格局

5.2.4 库伦型静电吸盘发展趋势

5.3 半导体静电吸盘（ESC）细分市场：J-R型静电吸盘

5.3.1 J-R型静电吸盘概述

5.3.2 J-R型静电吸盘市场概况

5.3.3 J-R型静电吸盘竞争格局

5.3.4 J-R型静电吸盘发展趋势

5.4 半导体静电吸盘（ESC）细分市场：大尺寸静电吸盘

5.4.1 大尺寸硅片现有及规划产能

5.4.2 晶圆厂数量及大尺寸硅片扩产计划

5.4.3 大尺寸静电吸盘概述

5.4.4 大尺寸静电吸盘竞争格局

5.4.5 大尺寸静电吸盘发展趋势

5.5 半导体静电吸盘（ESC）细分市场战略地位分析

第6章：中国半导体产业发展及静电吸盘（ESC）的需求

6.1 中国半导体产业链全景

6.1.1 半导体产业链结构梳理

6.1.2 半导体产业链生态图谱

6.2 中国半导体产品生产量

6.2.1 集成电路（IC）

6.2.2 半导体分立器件

6.2.3 半导体光电器件

6.3 中国半导体设备市场概况

6.3.1 半导体设备发展历程

6.3.2 中国半导体设备进口

1、整体进口情况

2、前道半导体设备进口

3、晶圆制造设备进口

4、封装辅助设备进口

6.3.3 半导体设备行业国产化进程

1、中国半导体设备整体国产化情况

2、中国半导体设备细分产品国产化情况

3、厂商突破新领域加速推进国产化进程

6.3.4 半导体设备行业市场规模分析

6.3.5 中国半导体设备市场规模占全球比重

6.3.6 半导体设备细分市场结构

6.4 静电吸盘（ESC）应用场景

6.5 静电吸盘（ESC）需求：离子注入机

6.5.1 离子注入机静电吸盘需求概述

6.5.2 离子注入机静电吸盘需求现状

6.5.3 离子注入机静电吸盘需求潜力

6.6 静电吸盘（ESC）需求：化学气相沉积（CVD）

6.6.1 化学气相沉积（CVD）静电吸盘需求概述

6.6.2 化学气相沉积（CVD）静电吸盘需求现状

6.6.3 化学气相沉积（CVD）静电吸盘需求潜力

6.7 静电吸盘（ESC）需求：物理气相沉积（PVD）

6.7.1 物理气相沉积（PVD）静电吸盘需求概述

6.7.2 物理气相沉积（PVD）静电吸盘需求现状

6.7.3 物理气相沉积（PVD）静电吸盘需求潜力

6.8 静电吸盘（ESC）需求：刻蚀机（ETCH）

6.8.1 刻蚀机（ETCH）静电吸盘需求概述

6.8.2 刻蚀机（ETCH）静电吸盘需求现状

6.8.3 刻蚀机（ETCH）静电吸盘需求潜力

6.9 半导体静电吸盘（ESC）细分应用市场战略地位分析

第7章：全球及中国半导体静电吸盘（ESC）企业案例解析

7.1 全球及中国半导体静电吸盘（ESC）企业梳理对比

7.2 全球半导体静电吸盘（ESC）企业案例分析（不分先后，可指定）

7.2.1 美国AMAT（应用材料）

1、企业基本信息

2、企业经营情况

3、半导体静电吸盘（ESC）业务布局

4、半导体静电吸盘（ESC）在华布局

7.2.2 美国LAM（泛林集团）

1、企业基本信息

2、企业经营情况

3、半导体静电吸盘（ESC）业务布局

4、半导体静电吸盘（ESC）在华布局

7.2.3 日本新光SHINKO

1、企业基本信息

2、企业经营情况

3、半导体静电吸盘（ESC）业务布局

4、半导体静电吸盘（ESC）在华布局

7.2.4 日本TOTO

1、企业基本信息

2、企业经营情况

3、半导体静电吸盘（ESC）业务布局

4、半导体静电吸盘（ESC）在华布局

7.2.5 日本特殊陶业株式会社（NGK/NTK）

1、企业基本信息

2、企业经营情况

3、半导体静电吸盘（ESC）业务布局

4、半导体静电吸盘（ESC）在华布局

7.3 中国半导体静电吸盘（ESC）企业案例分析（不分先后，可指定）

7.3.1 广东海拓创新精密设备科技有限公司

1、企业基本信息

（1）发展历程

（2）基本信息

（3）经营范围及主营业务

2、企业经营情况

3、企业资质能力

4、半导体静电吸盘（ESC）专利技术

5、半导体静电吸盘（ESC）产品布局

6、半导体静电吸盘（ESC）应用领域

7、企业业务布局战略&优劣势

7.3.2 北京华卓精科科技股份有限公司

1、企业基本信息

（1）发展历程

（2）基本信息

（3）经营范围及主营业务

2、企业经营情况

3、企业资质能力

4、半导体静电吸盘（ESC）专利技术

5、半导体静电吸盘（ESC）产品布局

6、半导体静电吸盘（ESC）应用领域

7、企业业务布局战略&优劣势

7.3.3 苏州珂玛材料科技股份有限公司

1、企业基本信息

（1）发展历程

（2）基本信息

（3）经营范围及主营业务

2、企业经营情况

3、企业资质能力

4、半导体静电吸盘（ESC）专利技术

5、半导体静电吸盘（ESC）产品布局

6、半导体静电吸盘（ESC）应用领域

7、企业业务布局战略&优劣势

7.3.4 浙江新纳材料科技股份有限公司

1、企业基本信息

（1）发展历程

（2）基本信息

（3）经营范围及主营业务

2、企业经营情况

3、企业资质能力

4、半导体静电吸盘（ESC）专利技术

5、半导体静电吸盘（ESC）产品布局

6、半导体静电吸盘（ESC）应用领域

7、企业业务布局战略&优劣势

7.3.5 河北中瓷电子科技股份有限公司

1、企业基本信息

（1）发展历程

（2）基本信息

（3）经营范围及主营业务

2、企业经营情况

3、企业资质能力

4、半导体静电吸盘（ESC）专利技术

5、半导体静电吸盘（ESC）产品布局

6、半导体静电吸盘（ESC）应用领域

7、企业业务布局战略&优劣势

7.3.6 君原电子科技（海宁）有限公司

1、企业基本信息

（1）发展历程

（2）基本信息

（3）经营范围及主营业务

2、企业经营情况

3、企业资质能力

4、半导体静电吸盘（ESC）专利技术

5、半导体静电吸盘（ESC）产品布局

6、半导体静电吸盘（ESC）应用领域

7、企业业务布局战略&优劣势

7.3.7 深圳市瑞耕科技有限公司

1、企业基本信息

（1）发展历程

（2）基本信息

（3）经营范围及主营业务

2、企业经营情况

3、企业资质能力

4、半导体静电吸盘（ESC）专利技术

5、半导体静电吸盘（ESC）产品布局

6、半导体静电吸盘（ESC）应用领域

7、企业业务布局战略&优劣势

7.3.8 中山市思考电子科技有限公司

1、企业基本信息

（1）发展历程

（2）基本信息

（3）经营范围及主营业务

2、企业经营情况

3、企业资质能力

4、半导体静电吸盘（ESC）专利技术

5、半导体静电吸盘（ESC）产品布局

6、半导体静电吸盘（ESC）应用领域

7、企业业务布局战略&优劣势

7.3.9 广东国研新材料有限公司

1、企业基本信息

（1）发展历程

（2）基本信息

（3）经营范围及主营业务

2、企业经营情况

3、企业资质能力

4、半导体静电吸盘（ESC）专利技术

5、半导体静电吸盘（ESC）产品布局

6、半导体静电吸盘（ESC）应用领域

7、企业业务布局战略&优劣势

7.3.10 广东海拓创新精密设备科技有限公司

1、企业基本信息

（1）发展历程

（2）基本信息

（3）经营范围及主营业务

2、企业经营情况

3、企业资质能力

4、半导体静电吸盘（ESC）专利技术

5、半导体静电吸盘（ESC）产品布局

6、半导体静电吸盘（ESC）应用领域

7、企业业务布局战略&优劣势

——展望篇——

第8章：中国半导体静电吸盘（ESC）行业政策环境及发展潜力

8.1 半导体静电吸盘（ESC）行业政策汇总解读

8.1.1 中国半导体静电吸盘（ESC）行业政策汇总

8.1.2 中国半导体静电吸盘（ESC）行业发展规划

8.1.3 中国半导体静电吸盘（ESC）重点政策解读

8.2 半导体静电吸盘（ESC）行业PEST分析图

8.3 半导体静电吸盘（ESC）行业SWOT分析图

8.4 半导体静电吸盘（ESC）行业发展潜力评估

8.5 半导体静电吸盘（ESC）行业未来关键增长点

8.6 半导体静电吸盘（ESC）行业发展前景预测

8.6.1 新增需求

8.6.2 替换需求

8.7 半导体静电吸盘（ESC）行业发展趋势洞悉

8.7.1 整体发展趋势

8.7.2 监管规范趋势

8.7.3 技术创新趋势

8.7.4 细分市场趋势

8.7.5 市场竞争趋势

8.7.6 市场供需趋势

第9章：中国半导体静电吸盘（ESC）行业投资机会及策略建议

9.1 半导体静电吸盘（ESC）行业投资风险预警

9.1.1 半导体静电吸盘（ESC）行业投资风险预警

9.1.2 半导体静电吸盘（ESC）行业投资风险应对

9.2 半导体静电吸盘（ESC）行业投资机会分析

9.2.1 半导体静电吸盘（ESC）产业链薄弱环节投资机会

9.2.2 半导体静电吸盘（ESC）行业细分领域投资机会

9.2.3 半导体静电吸盘（ESC）行业区域市场投资机会

9.2.4 半导体静电吸盘（ESC）产业空白点投资机会

9.3 半导体静电吸盘（ESC）行业投资价值评估

9.4 半导体静电吸盘（ESC）行业投资策略建议

9.5 半导体静电吸盘（ESC）行业可持续发展建议

图表1：半导体静电吸盘（ESC）的定义

图表2：半导体静电吸盘（ESC）的特征

图表3：半导体静电吸盘（ESC）专业术语

图表4：半导体静电吸盘（ESC）的分类

图表5：半导体静电吸盘（ESC）所处行业

图表6：半导体静电吸盘（ESC）行业监管

图表7：半导体静电吸盘（ESC）行业标准

图表8：半导体静电吸盘（ESC）产业链结构图

图表9：半导体静电吸盘（ESC）产业链生态全景图谱

图表10：半导体静电吸盘（ESC）产业链区域热力图

图表11：报告研究范围界定

图表12：报告权威数据来源

图表13：报告研究统计方法

图表14：全球半导体静电吸盘（ESC）行业发展历程

图表15：全球半导体产业发展概况

图表16：全球半导体设备市场概况

图表17：全球半导体零部件细分市场概况

图表18：全球半导体静电吸盘（ESC）量产情况

图表19：全球半导体静电吸盘（ESC）市场竞争格局

图表20：全球半导体静电吸盘（ESC）市场集中度

图表21：全球半导体静电吸盘（ESC）并购交易态势

图表22：全球半导体静电吸盘（ESC）市场规模体量

图表23：全球半导体静电吸盘（ESC）区域格局

图表24：全球半导体静电吸盘（ESC）贸易关系

图表25：全球半导体静电吸盘（ESC）贸易流向

图表26：国外半导体静电吸盘（ESC）发展经验借鉴

图表27：日本半导体静电吸盘（ESC）行业发展概况

图表28：美国半导体静电吸盘（ESC）行业发展概况

图表29：全球半导体静电吸盘（ESC）市场前景预测（未来五年）

图表30：全球半导体静电吸盘（ESC）发展趋势洞悉

图表31：中国半导体静电吸盘（ESC）行业发展历程

图表32：美国对中国半导体产业制裁法案及时间线

图表33：美国对中国半导体产业制裁法案颁布的影响

图表34：全球芯片增产能力区域分布趋势（单位：%）

图表35：半导体静电吸盘（ESC）国产替代空间

图表36：中国半导体静电吸盘（ESC）市场参与者类型

图表37：中国半导体静电吸盘（ESC）研发/生产企业

图表38：中国半导体静电吸盘（ESC）企业入场方式

图表39：中国半导体静电吸盘（ESC）企业入场进程

图表40：中国半导体静电吸盘（ESC）企业产品列表

图表41：中国半导体静电吸盘（ESC）企业产能布局

图表42：中国半导体静电吸盘（ESC）企业产能规划

图表43：中国半导体静电吸盘（ESC）生产情况/产量

图表44：半导体静电吸盘（ESC）适用海关HS编码

图表45：中国半导体静电吸盘（ESC）进出口贸易概况

图表46：中国半导体静电吸盘（ESC）市场销售模式

图表47：中国半导体静电吸盘的设备商、晶圆厂的认证情况

图表48：中国半导体静电吸盘（ESC）市场需求现状

图表49：中国半导体静电吸盘（ESC）市场供求关系

图表50：中国半导体静电吸盘（ESC）市场价格走势

图表51：中国半导体静电吸盘（ESC）市场规模体量

图表52：中国半导体静电吸盘（ESC）同业竞争程度

图表53：中国半导体静电吸盘（ESC）市场竞争格局

图表54：中国半导体静电吸盘（ESC）市场集中度

图表55：中国半导体静电吸盘（ESC）企业融资方式

图表56：中国半导体静电吸盘（ESC）行业兼并重组态势

图表57：中国半导体静电吸盘（ESC）热门融资赛道

图表58：中国半导体静电吸盘（ESC）企业IPO动态

图表59：中国半导体静电吸盘（ESC）行业发展痛点问题

图表60：半导体静电吸盘（ESC）核心竞争力/护城河

图表61：半导体静电吸盘（ESC）行业进入/竞争壁垒

图表62：半导体静电吸盘（ESC）潜在进入者的威胁

图表63：半导体静电吸盘（ESC）技术研发现状

图表64：中国半导体静电吸盘（ESC）专利申请状况

图表65：中国半导体静电吸盘（ESC）科研创新动态

图表66：半导体静电吸盘（ESC）技术研发方向/未来研究重点

图表67：半导体静电吸盘（ESC）的工作原理

图表68：半导体静电吸盘（ESC）工艺流程图解

图表69：半导体静电吸盘（ESC）的粉体开发

图表70：半导体静电吸盘（ESC）的烧结工艺

图表71：半导体静电吸盘（ESC）的加工工艺

图表72：半导体静电吸盘（ESC）核心技术分析

图表73：半导体静电吸盘（ESC）基本结构组成

图表74：半导体静电吸盘（ESC）成本结构分析

图表75：半导体静电吸盘（ESC）成本控制策略

图表76：半导体静电吸盘（ESC）产线设备组成及设备选型

图表77：半导体静电吸盘（ESC）生产设备市场概况

图表78：半导体静电吸盘（ESC）生产设备供应格局

图表79：半导体静电吸盘（ESC）供应链管理及面临挑战

图表80：半导体静电吸盘（ESC）VS其他卡盘

图表81：半导体静电吸盘（ESC）产品综合对比

图表82：中国半导体静电吸盘（ESC）细分市场概况

图表83：中国半导体静电吸盘（ESC）细分市场结构（单位：%）

图表84：库伦型静电吸盘概述

图表85：库伦型静电吸盘市场概况

图表86：库伦型静电吸盘竞争格局

图表87：库伦型静电吸盘发展趋势

图表88：J-R型静电吸盘概述

图表89：J-R型静电吸盘市场概况

图表90：J-R型静电吸盘竞争格局

图表91：J-R型静电吸盘发展趋势

图表92：大尺寸静电吸盘概述

图表93：大尺寸静电吸盘市场概况

图表94：大尺寸静电吸盘竞争格局

图表95：大尺寸静电吸盘发展趋势

图表96：半导体静电吸盘（ESC）细分市场战略地位分析

图表97：半导体行业产业链

图表98：半导体行业产业链中游细分产品梳理

图表99：半导体产业链全景图谱

图表100：2015-2023年中国半导体产量情况（单位：亿块，亿只）

图表101：2009-2023年中国集成电路产量及增速（单位：亿块，%）

图表102：中国半导体设备行业发展历程

图表103：中国大陆半导体设备进口市场情况（按进口金额）（单位：万美元，%）

图表104：中国大陆前道半导体设备进口市场分析（单位：美元）

图表105：中国大陆晶圆制造设备进口市场分析（单位：万美元）

图表106：中国大陆封装辅助设备进口市场分析（单位：万美元）

图表107：国产半导体设备销售额及国产化率变化（单位：亿元，%）

图表108：中国半导体设备招标采购国产占比（单位：%）

图表109：中国半导体设备供应商技术及产能突破情况

图表110：中国大陆半导体设备市场规模分析（单位：亿美元）

图表111：中国大陆半导体设备市场规模占全球比重情况（单位：%）

图表112：中国半导体设备各细分类型市场销售额占比（单位：%）

图表113：离子注入机静电吸盘需求概述

图表114：离子注入机静电吸盘需求现状

图表115：离子注入机静电吸盘需求潜力

图表116：化学气相沉积（CVD）静电吸盘需求概述

图表117：化学气相沉积（CVD）静电吸盘需求现状

图表118：化学气相沉积（CVD）静电吸盘需求潜力

图表119：物理气相沉积（PVD）静电吸盘需求概述

图表120：物理气相沉积（PVD）静电吸盘需求现状

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